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北电检测亮相国有企业应用场景发布会,先进封装的凸点缺陷检测系统入选北京市首台(套)重大技术装备
发布时间:2025-12-22

12月20日,2025年国有企业应用场景发布会在北京国家会议中心举行,本次大会以“场景引新质·产业育新机”为主题,集中展示一批国内领先、国际先进的创新场景、技术产品与重大成果,为场景建设与产业对接持续注入创新动力。北京电子量检测装备有限责任公司(以下简称“北电检测”)精彩亮相本次发布会。 会上,北京市发改委向北电检测“先进封装的凸点缺陷检测系统”颁发了北京市首台(套)重大技术装备荣誉证书;北京市国资委发布了《市管企业重大科技创新成果汇编》,北电检测“集成电路微纳形貌综合量测设备”成功入编;同时,北电检测现场发布了“用于半导体检测扫描探针显微镜的超高精度运动平台建设场景”需求。

本次发布会为2025年第四批北京市首台(套)重大技术装备举行了颁奖仪式。北电检测“先进封装的凸点缺陷检测系统”成功入选北京市首台(套)重大技术装备目录,荣获证书。

该设备产品应用了多模明/暗场高倍显微成像技术、高速三维形貌扫描技术以及高速飞拍与精密运动控制技术,各项技术指标与国际头部企业对标。该设备可应用于中道先进封装工艺段,用于检出先进封装RDL/Bump/TSV工艺流程中产生的剥落、划痕、裂纹、腐蚀、氧化、Bump缺失、高度及共面性的2D和3D缺陷,并在凸点制备过程中对凸点高度进行量测,实现对芯片良品率的把控以及对工艺的改善。首台(套)的认定不仅是对北电检测技术创新能力的肯定,也是对公司在推动高端检测装备国产化贡献的高度评价。

在会上,北电检测现场发布了“用于半导体检测扫描探针显微镜的超高精度运动平台建设场景”需求,披露了公司在纳米级精度长行程运动台方面的技术需求。强调了其在纳米级精度控制,稳定性及多场景适配等方面的高标准要求。这一需求的发布将为国内相关供应链企业带来新的合作契机。 此次首台(套)的入选不仅是北京市在集成电路检测领域战略布局的重要突破,更为推动国产替代、提升产业链自主可控能力注入新动能。依托北京市集成电路产业政策的支持,北电检测将持续加速科技成果转化与应用落地,不断强化自主创新能力和市场竞争力,助力北京市高端制造迈向高质量发展新阶段,为我国集成电路及相关产业的自主可控与升级发展贡献坚实力量。