量检测装备平台面向LCD和OLED领域，可测量SiOx、SiNx、SiON、a-Si、PI、ITO、IGZO、BM等单层及多层膜定制化开发设备；
技术特点：实现SE、SR、TR、ISR等可组合使用，3D数据显示，远程智能操控