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半导体先进封装3D AOI检测设备(Spark 110)
凸点键合技术采用导电凸点(Bump)结构,实现芯片对芯片(die-to-die)、芯片对基板(die-to-wafer)之间的电气互联互通,是2.5D和3D先进封装技术得以实现的关键技术,也是未来3.5D及4D封装技术得以实现的关键技术之一。
广泛应用于凸点错位、缺失、桥接以及高度不一致等问题的检测,伴随凸点直径尺寸和间隔的不断缩小,单片12寸晶圆上最多可布满5千万个凸点,使得快速高精度的凸点缺陷检测设备成为先进封装工艺良率控制的关键设备。集成了高精度线共聚焦3D检测模块、高速白光三角3D检测模块以及基于分布式计算的高速数据采集和处理系统,在凸点检测精度(sensitivity)和吞吐量(throughput)等主要性能参数与国际上同类产品基本持平。