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集成电路
高端装备金属工艺解决方案
彩膜垫料高度量测（PSH）设备
量检测装备平台在基于白光干涉显微术的微纳三维形貌特征测量系统自主研发产品；
主要技术包含宽光谱均匀显微照明、白光干涉显微术、白光相移干涉法重建三维立体结构、稳定抗振平台……
满足测量Photo Spacer Height、CD、Overlay、Angle等功能；
主要技术包含宽光谱均匀显微照明、白光干涉显微术、白光相移干涉法重建三维立体结构、稳定抗振平台……
满足测量Photo Spacer Height、CD、Overlay、Angle等功能；
