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集成电路

高端装备金属工艺解决方案

| 产品名称 | 图示 | 产品用途及工艺特点 |
| 盖板 |
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产品用途:半导体刻蚀设备盖板 工艺特点:Ø12.7mm精度孔深268mm,直径公差≦0.03mm,安装销孔间位置度精度≦0.04mm,尖角结构处粗糙度≦Ra0.4μm,零件通过本色阳极氧化工艺处理。 |
| 轴类 |
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产品用途:CMP主轴 工艺特点:孔径3.2mm,孔深200.8mm,深孔加工深径比≥60; 轴直径精度≦0.005mm,轴与大面垂直度≦0.01mm,同心度≦0.02mm,轴侧孔位置度≦0.01mm,轴表面粗糙度≦Ra0.2μm |
| 射频线圈 |
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产品用途:半导体射频设备零件 工艺特点:镀金工艺为零部件提供高稳定性、高可靠性的表面解决方案,镀金层厚度公差≦0.5μm,镀层色差△E≤0.25 |
| 流量计 |
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产品用途:流量计零件 工艺特点:中心Ø60mm高精度孔深184mm,圆柱度≦0.005mm,轴线度≦0.01mm,孔直径精度≦0.019mm,位置精度≦0.02mm |
